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用于較高真空的羅茨真空泵(機械增壓泵)不能直排大氣，如直排大氣會造成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機功率又會造成羅茨真空泵過熱以致羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的微小間隙很快因熱膨脹而卡死。為保證羅茨真空泵能達到較高真空必須保證羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。所以羅茨真空泵使用時必須設(shè)有前級泵，用前級泵將系統(tǒng)內(nèi)壓力抽至一定范圍內(nèi)時再啟動羅茨真空泵，如此可以避免羅茨真空泵過載。前級泵可以選用水(液)環(huán)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復(fù)式真空泵等可直排大氣的真空泵。

　　羅茨真空機組在一般情況下，選用水環(huán)泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當氣鎮(zhèn)油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時候更為明顯。
　　羅茨泵－水環(huán)泵機組廣泛地用于化工、食品升華干燥、高空模擬試驗等的抽真空系統(tǒng)中。這類聯(lián)合機組，大致有如下幾種類型。
　　（1）羅茨泵－水環(huán)泵：機組中水環(huán)泵的作用是造成羅茨泵所需的預(yù)備真空，因此要求該水環(huán)泵的最大允許排氣壓力，即是說，一方面要盡量提高水環(huán)泵的極限真空，另一方面，也要設(shè)法提高羅茨泵的最大允許排氣壓力。
　　一般情況，單級水環(huán)泵極限真空度不高，而目前我國生產(chǎn)的羅茨泵要求的預(yù)真空又較高，故實際上不用單級水環(huán)泵作為羅茨泵的前級泵，而用能提高極限真空度的雙級水環(huán)泵作為前級泵使用，采用雙級水環(huán)泵，還可以提高機組的極限真空度。
　　一臺羅茨泵的極限真空度是較低的，特別是當它與水環(huán)泵組合運行時，使用范圍受到限制，整個機組的極限真空度可能更低，但若用兩臺羅茨泵串聯(lián)再與水環(huán)泵組合，就能大大提高機組的極限真空度。
　　故在這種類型里通常見到的是兩臺羅茨泵串聯(lián)后再用雙級水環(huán)泵作前級泵組成機組。
　　（2）羅茨泵－水環(huán)泵－大氣泵機組：即使采用雙級水環(huán)泵，極限真空度的提高也只是在一定的范圍之內(nèi)，這是因為受到水的飽和蒸汽壓的限制。水環(huán)泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。如果考慮氣體返流等因素的影響，實際上水環(huán)泵的極限壓力顯著比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了提高前級泵的極限真空度，還可以使水環(huán)泵與大氣泵組合使用。

這樣，串聯(lián)一級大氣泵后的極限真空度可達20~30Torr,如果水環(huán)泵與二級大氣泵組合，則極限真空可達2~10Torr。
　　（3）羅茨泵－水環(huán)泵并聯(lián)機械真空泵：此機組主要用于需要處理大量水蒸汽，且極限真空度要求較高的抽真空系統(tǒng)，例如在真空干燥方面。
　　要求處理大量水蒸汽的真空系統(tǒng)中，使用水環(huán)泵是較合適的，但由于其極限真空度不高，致使整個機組的極限真空度較低。雖然在要求真空度較高的抽真空系統(tǒng)中，需要極限真空較高的機械真空泵作為前級泵使用。但由于水環(huán)泵的耗電量大，效率很低，噪聲高，在需要長時間的真空干燥系統(tǒng)中，用水環(huán)泵作為羅茨泵前級泵很不經(jīng)濟。
　　在上述情況下，可將氣鎮(zhèn)機械真空泵與水環(huán)泵并聯(lián)，作為羅茨泵的前級泵。真空干燥時，先用水環(huán)泵進行預(yù)抽，直至水蒸汽大量減少時，再開動氣鎮(zhèn)機械真空泵，切斷水環(huán)泵。如需要較長時間才能完成干燥的場合，所需冷卻水和功率都較少。